半导体工艺废气如何处理有效果?

发布网友发布时间：2022-05-14 08:58

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热心网友时间：2023-10-12 08:19

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助！

热心网友时间：2023-10-12 08:19

目前,针对这种气体排放,一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。吸附是利用多... 因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大

热心网友时间：2023-10-12 08:20

半导体工艺废气最好是先检测一下是否符合标准，然后再进行相应的处理和排放，先找一下第三方检测机构进行检测，相对来说比较不错的第三方检测机构就是量化检测了，这个第三方检测机构是比较权威的，能对气体做出合理的检测，确定其符合排放标准后就能进行排放，这边的检测结果也更加全面，根据他们的检测结果就能进行精确的治理。